प्लाज्मा क्लीनर के विशिष्ट अनुप्रयोग

प्लाज्मा सफाई/एचिंग मशीन एक विद्युत क्षेत्र बनावै के लिए एक सीलबंद कंटेनर मा दुई इलेक्ट्रोड रख के प्लाज्मा उत्पन्न करत हैं। एक निश्चित वैक्यूम स्तर का बनाए रखे के लिए एक वैक्यूम पंप का उपयोग कीन जात है। जैसे-जैसे गैस तेजी से दुर्लभ होत जात है, अणुओं के बीच के दूरी अऊर अणुओं या आयनों के मुक्त गति भी बढ़ जात है। विद्युत क्षेत्र के प्रभाव मा ई आयन टकरा जात हैं अऊर प्लाज्मा बनावत हैं। ई आयन अत्यधिक प्रतिक्रियाशील होत हैं, जेहिमा लगभग सब रासायनिक बंधन का तोड़ै के लिए पर्याप्त ऊर्जा होत है, जेसे कौनो भी उजागर सतह पर रासायनिक प्रतिक्रिया होत है। अलग-अलग गैस प्लाज्मा मा अलग-अलग रासायनिक गुण होत हैं। उदाहरण के लिए, ऑक्सीजन प्लाज्मा अत्यधिक ऑक्सीकरण करै वाला होत है, जवन गैस पैदा करै के लिए फोटोरेसिस्ट का ऑक्सीकरण करै में सक्षम होत है, जेहिसे सफाई प्रभाव प्राप्त होत है। संक्षारक गैस प्लाज्मा मा उत्कृष्ट विषमता होत है, जवन नक्काशी के आवश्यकताओं का पूरा करत है। प्लाज्मा उपचार से चमक पैदा होत है, यहिसे चमक निर्वहन नाम है।
प्लाज्मा सफाई कय तंत्र मुख्य रूप से सतह कय दाग कय हटावै कय खातिर प्लाज्मा मा सक्रिय कणन कय "सक्रियण" पे निर्भर करत है। प्रतिक्रिया तंत्र के संदर्भ मा, प्लाज्मा सफाई मा आम तौर पर निम्नलिखित प्रक्रिया शामिल होत है: अकार्बनिक गैसन का प्लाज्मा अवस्था मा उत्तेजित कीन जात है; गैसीय पदार्थ ठोस सतह पर सोख लेत हैं; सोखे गए समूह ठोस सतह पर अणुओं के साथ प्रतिक्रिया करत हैं अऊर उत्पाद अणु बनावत हैं; उत्पाद अणु गैस चरण मा विघटित होत हैं; अऊर प्रतिक्रिया अवशेष सतह से हटा दीन जात हैं।

प्लाज्मा सफाई तकनीक के सबसे महत्वपूर्ण विशेषता ई है कि ई धातु, अर्धचालक, ऑक्साइड अऊर अधिकांश बहुलक सामग्री जइसे कि पॉलीप्रोपाइलीन, पॉलिएस्टर, पॉलीमाइड, पॉलीविनाइल क्लोराइड, एपोक्सी अऊर यहां तक ​​कि पॉलीटेट्राफ्लोरोएथिलीन सहित कौनो भी सब्सट्रेट प्रकार का इलाज कर सकत है। ई पूरी सतह अऊर विशिष्ट क्षेत्रन के साथ-साथ जटिल संरचनाओं दुइनौ का साफ कइ सकत है।