वायुमंडलीय प्लाज्मा उपचार उपकरण

(1) पूर्व-वैक्यूम कक्ष
प्री-वैक्यूम चैम्बर का काम ई सुनिश्चित करब है कि एचिंग चैम्बर का एक निर्धारित वैक्यूम स्तर पर बनाए रखा जाय, बाहरी वातावरण (जैसे धूल, जल वाष्प) से प्रभावित न होय, अऊर स्वच्छ कमरा से खतरनाक गैसन का अलग करै। यहिमा एक कवर, एक मैनिपुलेटर, एक संचरण तंत्र, एक अलगाव दरवाजा, आदि शामिल हैं।

(2) नक्काशीदार कक्ष
नक्काशी कक्ष आईसीपी नक्काशी उपकरण के मूल संरचना है। ई नक्काशी दर, नक्काशी के ऊर्ध्वाधरता अऊर खुरदरापन पर सीधा प्रभाव डालत है। नक्काशी कक्ष के मुख्य घटक हैं: ऊपरी इलेक्ट्रोड, आईसीपी रेडियो आवृत्ति इकाई, आरएफ रेडियो आवृत्ति इकाई, निचला इलेक्ट्रोड प्रणाली, तापमान नियंत्रण प्रणाली, आदि।

(3) गैस आपूर्ति प्रणाली
गैस आपूर्ति प्रणाली नक्काशी कक्ष मा विभिन्न नक्काशी गैसन का वितरित करै के अहै, अऊर दबाव नियंत्रक (पीसी) अऊर द्रव्यमान प्रवाह नियंत्रक (एमएफसी) के माध्यम से गैस प्रवाह दर अऊर प्रवाह का सटीक रूप से नियंत्रित करै के अहै। गैस आपूर्ति प्रणाली मा एक गैस स्रोत बोतल, एक गैस वितरण पाइपलाइन, एक नियंत्रण प्रणाली, एक मिश्रण इकाई, आदि शामिल हैं।

(4) वैक्यूम सिस्टम
दुई वैक्यूम सिस्टम हैं, एक प्री-वैक्यूम चैम्बर के लिए अऊर दूसर एचिंग चैम्बर के लिए। प्री-वैक्यूम कक्ष का एक यांत्रिक पंप द्वारा खाली करा जात है। जब प्री-वैक्यूम चैम्बर मा वैक्यूम स्तर निर्धारित मान तक पहुँच जात है तब ही वेफर का स्थानांतरित करै के लिए अलगाव दरवाजा खोला जा सकत है।